金融界2024年12月4日音讯，国家知识产权局信息数据显现，姑苏敏芯微电子技术股份有限公司请求一项名为“一种根据MEMS工艺的六维力传感器”的专利，公开号CN 119063897 A，请求日期为2024年11月。
专利摘要显现，本请求公开了一种根据MEMS工艺的六维力传感器，包含力传感器芯片，所述力传感器芯片包含坐落所述力传感器芯片中心方位的质量块，以及衔接所述质量块与芯片外框的弹性梁；所述弹性梁上设置有力敏电阻；底部结构，设置在垂直于所述力传感器芯片外表的方向，用于包容所述力传感器芯片；顶部结构，坐落所述力传感器芯片一侧，经过中心结构衔接所述力传感器芯片。
